А Б В Г Д Е Є Ж З І Ї Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ю Я
Високоефективний фільтр
Високоефективний фільтр призначений для уловлювання частинок з розмірами приблизно 2 мкм і менше. Для видалення більших частинок можна використовувати порівняно дешеві попередні фільтри, які в цьому розділі не розглядаються. Фільтрувальне середовище високоефективного фільтру виконана зі скляних волокон з діаметрами в діапазоні від 0 1 мкм до 10 мкм, причому відстань між волокнами, як правило, набагато більше розмірів вловлюються частинок.
Високоефективний фільтр, який залишає межі заводу, де він був виготовлений і пройшов випробування, має характеристики, що відповідають своєму призначенню. Якщо він був правильно упакований і транспортований і якщо монтаж на місці проводився кваліфікованим фахівцем, що має досвід роботи з легко пошкоджуються, що фільтрує, то незмінність характеристик фільтра зберігається.
Витоку через прокладки в фільтрах, встановлених на стелі ззовні чистого приміщення. Високоефективні фільтри, призначені для установки в чистому приміщенні повинні бути випробувані на заводі-виробнику і ретельно упаковані щоб уникнути пошкоджень при транспортуванні до місця установки. На жаль, так виходить не завжди. Крім того, пошкодження фільтрів може статися при їх розпакування і установці в систему кріплення. На рис. 12.1 показані типові ділянки, які при установці фільтрів можуть стати місцем виникнення течі забрудненого повітря через фільтр і потрапляння цього повітря в чисте приміщення.
Ефективність різних типів сухих волокнистих фільтров34647. Високоефективні фільтри виготовляються з суміші вовни з асбестом40 і бавовни з асбестом41 на кардочесальних машинах. Ці папери мають ту перевагу, що, складаючи їх у вигляді гармонік, в невеликому обсязі можна вмістити велику фільтруючу поверхню; гідравлічний опір складчастого фільтру невелика, а швидкість його забивання так само мала, як і у більш товстих матеріалів.
Класична крива ефективності повітряного фільтра. Після виготовлення високоефективних фільтрів для визначення ефективності фільтрації проводять їх випробування за допомогою тестового аерозолю. Для цього розроблено декілька стандартів. Нижче наводяться короткі характеристики найбільш поширених з них.
При перевірці високоефективних фільтрів в установленому положенні на наявність течі зазвичай використовується спеціальний тестовий аерозоль. його отримують за допомогою генераторів пилу або диму і вводять в систему вентиляції таким чином, щоб концентрація частинок за фільтром була достатньою для проведення вимірювань. Дефекти визначаються при скануванні системи фільтрів відсутні сліди витікання частинок тестового аерозолю.
При поставці високоефективних фільтрів виробник повинен вказувати значення їх ефективності. Другим завданням, яке ставиться при випробуванні фільтрів, встановлених в робоче положення, є перевірка відповідності ефективності фільтра паспортними даними.
Переносні пилососи з високоефективними фільтрами для розсіювання частинок (НЕРА) використовуються для очищення забруднених миш'яком робочих поверхонь на ділянках іонного легування. Шкідливі викиди понад 1000 мкг /м3 були зареєстровані коли НЕРА-лилесоси неправильно очищали.
Для відбору проб аерозолів є високоефективні фільтри типу АФА, що володіють виключно високою затримує здатністю, зберігається навіть при підвищених швидкостях аспірації повітря (до 100 - 120 л /хв), постійністю маси, обумовленим гидрофобностью матеріалу волокон, малим аеродинамічним опором, незначною власною масою.
Для швидких і точних випробувань високоефективних фільтрів респіраторів в цілому застосовується нетоксичний аерозоль.
Ефективність уловлювання частинок з повітря високоефективним фільтром залежить від перших трьох описаних вище механізмів видалення частинок з повітря. Частинки найбільшого розміру уловлюються за рахунок інерції, частки середнього розміру - через ефект зачеплення, а найменші частинки - внаслідок дифузії. На рис. 8.5 представлена залежність, що ілюструє ці положення. На графіку наведена класична крива ефективності уловлювання аерозолів для НЕРА-фільтрів з мінімальною ефективністю для частинок діаметром близько 0 3 мкм. Зазвичай він знаходиться в діапазоні діаметрів від 0 1 до 0 3 мкм. Цікаво відзначити, що високоефективні фільтри найбільш ефективні для уловлювання більш дрібних частинок, ніж частинок з максимальною проникаючу здатність. Цей ефект обумовлений дифузією.
Фільтрувати можна через звичайні аналітичні паперові фільтри, спеціальні високоефективні фільтри, що містять асбест, а якщо опір фільтра не грає особливої ролі то і через шар чистих азбестових волокон.
Чисті приміщення з односпрямованим потоком повітря, часто використовувані в виробництві напівпровідникових приладів. | Чисте приміщення типу танцзал. У чистих приміщеннях - танцзалах суцільний стелю з високоефективних фільтрів забезпечує подачу чистого повітря по всьому простору чистого приміщення, незважаючи на доцільність; обладнання встановлюється також по всьому приміщенню. Однак повітря вищої якості в дійсності необхідний тільки на тих ділянках приміщення, де продукція найбільш чутлива до аерозольних забруднень, в той час як на інших ділянках повітря міг би бути і більш низької якості.
Використання максимально чистого масла, тобто використання високоефективних фільтрів і уникнути забруднення підшипників різними домішками ззовні є умовами, які потрібно виконувати беззастережно для збільшення терміну служби підшипників.
Досліди показалі13 що проточна диффузионная камера є високоефективним фільтром для очищення повітря або газів від важко вловимих дисперсних частинок і зокрема, для осадження високодисперсною силікатної пилу.
Пересичення пари між вологими поверхнями неоднаковою температури. Досліди показалі13 що проточна диффузионная камера є високоефективним фільтром для очищення повітря або газів від важко вловимих дисперсних частинок і зокрема, для осадження високодисперсною силікатної пилу. У пересиченому парі дифузійної камери зважені частинки швидко збільшуються в розмірі завдяки конденсації пари на їх поверхні а потім осідають під дією тяжкості або в звичайних газових фільтрах.
Повітря перед викидом в атмосферу обов'язково очищається в високоефективних фільтрах. Крім того, в установах, де проводяться роботи I і II класів, крім фільтрів на витяжних системах передбачаються вибросние труби, висота яких дозволяє забезпечувати допустимі концентрації радіоактивних речовин в атмосфері до рівня, що не перевищує СДК для окремих осіб з населення.
При проектуванні і будівництві теплових електростанцій передбачається оснащення їх високоефективними фільтрами та іншими засобами для очищення шкідливих відходів, скидів і викидів, а також використання екологічно безпечних видів палива.
Всі чотири механізму схематично показані на рис. 8.4. Вважається, що електростатичні ефекти в високоефективних фільтрах проявляються незначно, і тому вони на малюнку не представлені.
У приміщеннях з односпрямованим повітряним потоком, щоб забезпечити максимально чисті умови, повітря подають на критичні ділянки безпосередньо з високоефективних фільтрів.
Фактори ризику і запобіжні заходи в колекційному менеджменті. Запобіжні заходи: засоби індивідуального захисту, респіратори, вентиляція, захист від бризок, медичний нагляд, пилососи з високоефективним фільтром, наявність дозволів на застосування і взяття проб повітря перед входом в оброблене фумигантами приміщення.
видаляється з укриттів, боксів, камер, шаф та іншого обладнання забруднене повітря може бути піддано перед викидом в атмосферу очищенню на високоефективних фільтрах.
Видаляється з укриттів, боксів, камер, шаф та іншого обладнання забруднене повітря може бути піддано перед викидом в атмосферу очищенню на високоефективних фільтрах.
Так, в практичних умовах на одному новому заводі барвників в ФРН в триступеневої системи: масляні самоочищаються фільтри - ефективні фільтри (типу мікроліт) - високоефективні фільтри (типу мікросорбан), фільтри другого ступеня доводилося замінювати кожні кілька місяців, в той час як в основних фільтрах третього ступеня після півтора року роботи істотного збільшення опору виявлено не було.
Поряд з проблемою видалення газоподібних радіоактивних продуктів поділу чималу складність являє очищення повітря, що викидається через вентиляційну трубу в атмосферу, від дисперсних частинок і створення для цих цілей спеціальних високоефективних фільтрів.
Різьба по дереву за допомогою ручного інструменту. | Деревообробні машини з мішка. Запобіжні заходи включають відмову від роботи з деревиною, обробленої Пентахлорфенол або креозотом, використання локальної витяжної вентиляції при механічній обробці деревини, просоченої хромовим ар-сенатом міді або носіння респіраторів з високоефективними фільтрами.
деякі типи дрібнодисперсних макрочасток, що зустрічаються в шахтах (наприклад, волокна азбесту в азбестових шахтах, радіонукліди в уранових розробках або вугільна дрібниця в протяжних забоях), вимагають застосування респіраторів позитивного тиску з високоефективним фільтром для макрочасток.
При випробуванні респіраторів, призначених для захисту від радіоактивних аерозолів, застосовують високодисперсні природні атмосферні частки, мічені шляхом осадження на них дочірніх продуктів еманації торію, радіоактивні аерозолі (солі Sr 1 P32) і ін. Для швидких і точних випробувань високоефективних фільтрів і респіраторів в цілому застосовують нетоксичний аерозоль хлористого натрію.
Зони витоків в високоефективному фільтрі. Частиною програми випробувань чистого приміщення є визначення відповідності якості подається в чисте приміщення повітря розв'язуваної задачі тобто специфіку проведених в ньому робіт. Високоефективні фільтри повинні забезпечувати ефективне уловлювання частинок з поступаюшего повітря.
Ці волокна орієнтовані в просторі випадковим чином по всій глибині фільтруючого середовища і тому не утворюють пір якогось певного розміру. На рис. 8.3 наводиться фотознімок фільтруючого середовища високоефективного фільтру. У нижній частині фотографії вказано масштаб 10 мкм.
Зазвичай в чистих приміщеннях порівняно низьких класів (іноді в приміщеннях класу ISO 7 тобто класу 10000і часто в приміщеннях класу ISO 8 тобто класу 100000) перевірку фільтрів на наявність течі не проводять. У чистих приміщеннях класу ISO 8 (клас 100000) високоефективні фільтри на виході системи вентиляції можуть взагалі не встановлюватися, а замість них використовуються з мішковини фільтри, що розміщуються після центрального кондиціонера. В цьому випадку перевірка фільтрів на наявність течі за методикою, описаної в цьому розділі неможлива. Часто можна почути твердження, що якщо необхідна по стандарту чистота повітря досягається ще до його входу в чисте приміщення, то невелика текти нефільтрованого повітря через систему фільтрації дасть невелике забруднення, що цілком прийнятно. Ця точка зору абсолютно виправдана для турбулентному вентильованих чистих приміщень, де подається повітря добре перемішується з повітрям всередині чистого приміщення, що дозволяє уникнути локальних перевищень концентрації частинок, обумовлених дефектами фільтра. У системах з односпрямованим повітряним потоком, особливо в ламінарних шафах або ізоляторах, де відстань від фільтра до критичної зони може бути невеликим, дефект в ушкодженому фільтрі може дати спрямований потік забруднень, що, в свою чергу, може викликати локальне підвищення концентрації частинок в критичній зоні до неприпустимого рівня. Таким чином, чисті приміщення з односпрямованим потоком повітря, а також пристрої з додатковим очищенням повітря, в яких використовується односпрямований повітряний потік, необхідно завжди перевіряти на наявність дефектів фільтрів.
Коли рівні аміаку високі можна застосовувати комбінацію з заплічних патронів, фільтруючих аміак і частки. Також може підійти більш дорогий приводний повітроочисний респіратор з маскою на все обличчя і високоефективними фільтрами. Ці пристрої мають ту перевагу, що фільтрується повітря постійно подається в лицьову маску, зменшуючи опір дихання. Повітроочисні шлемообразной респіратори також можуть ефективно використовуватися, в тому числі і бородатими людьми. Для деяких робочих ситуацій можуть підходити такі типи респіраторів, які мають меншу захистом, ніж повітроочисні типи респіраторів на все обличчя.
XIV), важливою умовою нормальної експлуатації є безперервна фільтрація циркулюючого розсолу, здійснювана за рахунок застосування високоефективних фільтрів, що виправдали себе в хімічній промисловості.
Скрубери Вентурі також широко використовуються в системах очищення повітря від туманів. Ефективність очищення повітря від туману із середнім розміром частинок приблизно 0 3 мкм досягає 0999 що цілком порівнянно з високоефективними фільтрами.
Скрубери Вентурі широко використовують в системах очищення газів від туманів. Ефективність очищення повітря від туману із середнім розміром частинок більше 0 3 мкм досягає 0999 що цілком порівнянно з високоефективними фільтрами.
Водяна пара і оксиди азоту, отримані в результатірозкладання продукту, відводилися через систему циклонів, мокрий скрубер, сілікагелевой адсорбер і високоефективні фільтри і потім викидалися в атмосферу. Отриманий в шарі гранульований твердий продукт з'єднувався з продуктом, виділеним з газів, що відходять сухий пилеочистка, і пневматично транспортувався в підземні сховища.
У сучасних карбюраторних двигунах розрідження у впускному тракті доходить до 500 мм рт. ст., а через примусової вентиляції розрідження в картері досягає 20 мм рт. ст. Тому необхідна ретельна герметизація картера і впускного тракту за рахунок якісного ущільнення колінчастого вала, маслоізмерітельного стержня і інших з'єднань. Так як при використанні примусової вентиляції кількість надходження повітря в картер з атмосфери через сапун досягає декількох кубічних метрів на годину, необхідне застосування високоефективних фільтрів на Сапун, як, наприклад, паперових, мають широке поширення в зарубіжних двигунах.
В результаті численних дослідів нами було виявлено нове явище, яке в загальному вигляді можна сформулювати так: утримання частинок різного ступеня дисперсності (в тому числі і деяких утворюють істинні розчини речовин) поляризованими матеріалами. Зовні суть явища зводиться до того, що шар зернистого, волокнистого або пористого матеріалу, який не представляє собою ніякої реальної фільтрувальної перегородки для частинок малого розміру, будучи поміщеним в електричне поле, перетворюється в високоефективний фільтр, що затримує всякі колоїдні частинки і багато речовин, що утворюють істинні розчини.
Хоча між методами є прямі співвідношення, результати всіх трьох методів не можуть прямо порівнюватися. Ефективність фільтрів зменшується, коли вони засмічуються, і після цього вони можуть стати джерелом запаху і забруднення. Ресурс високоефективного фільтру може бути сильно продовжений використанням одного або декількох фільтрів з установкою більш грубого фільтру перед високоефективним фільтром. Таблиця 45.5 показує початкову, кінцеву та середню продуктивність різних фільтрів за критеріями, встановленими ASHRAE 52 - 76 для частинок діаметром 0 3 мкм.
Високоефективний фільтр призначений для уловлювання частинок з розмірами приблизно 2 мкм і менше. Для видалення більших частинок можна використовувати порівняно дешеві попередні фільтри, які в цьому розділі не розглядаються. Фільтрувальне середовище високоефективного фільтру виконана зі скляних волокон з діаметрами в діапазоні від 0 1 мкм до 10 мкм, причому відстань між волокнами, як правило, набагато більше розмірів уловлюються частинок.
Освоєно ряд нових конструкцій для фільтрування газів. Друге народження переживають тканинні (рукавні) фільтри. Великого поширення набули високоефективні фільтри Петрянова. Високу ефективність (до 99 9%) газоочистки забезпечують також розроблені НІІОГАЗ відцентрові фільтри (наприклад, ФЦ-13 з безперервною регенерацією фільтрувальної перегородки) із середнім розміром вловлюються частинок близько 1 0 мкм з газових потоків з температурою до 500 С.
Для очищення підлоги в чистих приміщеннях можна використовувати машини з обертовими щітками. Викиди повітря фільтрується за допомогою високоефективних фільтрів.
Вентиляція чистих приміщень зазвичай здійснюється за схемою зверху - вниз. Припливне повітря попередньо проходить очистку в фільтрах. Для скорочення експлуатаційних витрат і зниження навантаження на високоефективні фільтри тонкого очищення перед ними рекомендується встановлювати фільтри грубого очищення. Необхідно, щоб як в самих фільтрах, так і між осередками не було зазорів для проходу неочищеного повітря. Припливне повітря в чистих приміщеннях доцільно роздавати рівномірно по всьому перетину приміщення, уникаючи виникнення зворотних повітряних течій.
Чисті приміщення на підприємствах мікроелектроніки існують і розвиваються вже багато років. На рис. 6.5 представлений тип чистого приміщення, широко поширений в цій галузі. Зі схеми видно, що односпрямований потік повітря рухається від високоефективних фільтрів вниз і проходить через пів чистого приміщення. Оскільки виробництво напівпровідникових приладів дуже чутливо до вібрації, передбачаються спеціальні заходи боротьби з нею. У деяких конструкціях повітря повертається на рециркуляцію безпосередньо з-під підлоги, а в інших (аналогічних представленої на рис. 6.5) передбачається великий підвал, який використовується для технічного обслуговування. Існують конструкції чистих приміщень, що мають і фальшпол, і технічний поверх в підвальному приміщенні. Проект, представлений на рис. 6.5 часто називають танцзалах, оскільки він являє собою одне велике приміщення.
Ізолюючі лабораторні шафи (бокси. З малюнка видно, що в приміщення подається чисте повітря, але його кількість повинна бути меншою за кількість повітря, що виходить через витяжну вентиляцію. Виходить з приміщення повітря перед викидом у зовнішнє середовище повинен бути профільтрованний високоефективним фільтром. .
Високоефективний фільтр, який залишає межі заводу, де він був виготовлений і пройшов випробування, має характеристики, що відповідають своєму призначенню. Якщо він був правильно упакований і транспортований і якщо монтаж на місці проводився кваліфікованим фахівцем, що має досвід роботи з легко пошкоджуються, що фільтрує, то незмінність характеристик фільтра зберігається.
Витоку через прокладки в фільтрах, встановлених на стелі ззовні чистого приміщення. Високоефективні фільтри, призначені для установки в чистому приміщенні повинні бути випробувані на заводі-виробнику і ретельно упаковані щоб уникнути пошкоджень при транспортуванні до місця установки. На жаль, так виходить не завжди. Крім того, пошкодження фільтрів може статися при їх розпакування і установці в систему кріплення. На рис. 12.1 показані типові ділянки, які при установці фільтрів можуть стати місцем виникнення течі забрудненого повітря через фільтр і потрапляння цього повітря в чисте приміщення.
Ефективність різних типів сухих волокнистих фільтров34647. Високоефективні фільтри виготовляються з суміші вовни з асбестом40 і бавовни з асбестом41 на кардочесальних машинах. Ці папери мають ту перевагу, що, складаючи їх у вигляді гармонік, в невеликому обсязі можна вмістити велику фільтруючу поверхню; гідравлічний опір складчастого фільтру невелика, а швидкість його забивання так само мала, як і у більш товстих матеріалів.
Класична крива ефективності повітряного фільтра. Після виготовлення високоефективних фільтрів для визначення ефективності фільтрації проводять їх випробування за допомогою тестового аерозолю. Для цього розроблено декілька стандартів. Нижче наводяться короткі характеристики найбільш поширених з них.
При перевірці високоефективних фільтрів в установленому положенні на наявність течі зазвичай використовується спеціальний тестовий аерозоль. його отримують за допомогою генераторів пилу або диму і вводять в систему вентиляції таким чином, щоб концентрація частинок за фільтром була достатньою для проведення вимірювань. Дефекти визначаються при скануванні системи фільтрів відсутні сліди витікання частинок тестового аерозолю.
При поставці високоефективних фільтрів виробник повинен вказувати значення їх ефективності. Другим завданням, яке ставиться при випробуванні фільтрів, встановлених в робоче положення, є перевірка відповідності ефективності фільтра паспортними даними.
Переносні пилососи з високоефективними фільтрами для розсіювання частинок (НЕРА) використовуються для очищення забруднених миш'яком робочих поверхонь на ділянках іонного легування. Шкідливі викиди понад 1000 мкг /м3 були зареєстровані коли НЕРА-лилесоси неправильно очищали.
Для відбору проб аерозолів є високоефективні фільтри типу АФА, що володіють виключно високою затримує здатністю, зберігається навіть при підвищених швидкостях аспірації повітря (до 100 - 120 л /хв), постійністю маси, обумовленим гидрофобностью матеріалу волокон, малим аеродинамічним опором, незначною власною масою.
Для швидких і точних випробувань високоефективних фільтрів респіраторів в цілому застосовується нетоксичний аерозоль.
Ефективність уловлювання частинок з повітря високоефективним фільтром залежить від перших трьох описаних вище механізмів видалення частинок з повітря. Частинки найбільшого розміру уловлюються за рахунок інерції, частки середнього розміру - через ефект зачеплення, а найменші частинки - внаслідок дифузії. На рис. 8.5 представлена залежність, що ілюструє ці положення. На графіку наведена класична крива ефективності уловлювання аерозолів для НЕРА-фільтрів з мінімальною ефективністю для частинок діаметром близько 0 3 мкм. Зазвичай він знаходиться в діапазоні діаметрів від 0 1 до 0 3 мкм. Цікаво відзначити, що високоефективні фільтри найбільш ефективні для уловлювання більш дрібних частинок, ніж частинок з максимальною проникаючу здатність. Цей ефект обумовлений дифузією.
Фільтрувати можна через звичайні аналітичні паперові фільтри, спеціальні високоефективні фільтри, що містять асбест, а якщо опір фільтра не грає особливої ролі то і через шар чистих азбестових волокон.
Чисті приміщення з односпрямованим потоком повітря, часто використовувані в виробництві напівпровідникових приладів. | Чисте приміщення типу танцзал. У чистих приміщеннях - танцзалах суцільний стелю з високоефективних фільтрів забезпечує подачу чистого повітря по всьому простору чистого приміщення, незважаючи на доцільність; обладнання встановлюється також по всьому приміщенню. Однак повітря вищої якості в дійсності необхідний тільки на тих ділянках приміщення, де продукція найбільш чутлива до аерозольних забруднень, в той час як на інших ділянках повітря міг би бути і більш низької якості.
Використання максимально чистого масла, тобто використання високоефективних фільтрів і уникнути забруднення підшипників різними домішками ззовні є умовами, які потрібно виконувати беззастережно для збільшення терміну служби підшипників.
Досліди показалі13 що проточна диффузионная камера є високоефективним фільтром для очищення повітря або газів від важко вловимих дисперсних частинок і зокрема, для осадження високодисперсною силікатної пилу.
Пересичення пари між вологими поверхнями неоднаковою температури. Досліди показалі13 що проточна диффузионная камера є високоефективним фільтром для очищення повітря або газів від важко вловимих дисперсних частинок і зокрема, для осадження високодисперсною силікатної пилу. У пересиченому парі дифузійної камери зважені частинки швидко збільшуються в розмірі завдяки конденсації пари на їх поверхні а потім осідають під дією тяжкості або в звичайних газових фільтрах.
Повітря перед викидом в атмосферу обов'язково очищається в високоефективних фільтрах. Крім того, в установах, де проводяться роботи I і II класів, крім фільтрів на витяжних системах передбачаються вибросние труби, висота яких дозволяє забезпечувати допустимі концентрації радіоактивних речовин в атмосфері до рівня, що не перевищує СДК для окремих осіб з населення.
При проектуванні і будівництві теплових електростанцій передбачається оснащення їх високоефективними фільтрами та іншими засобами для очищення шкідливих відходів, скидів і викидів, а також використання екологічно безпечних видів палива.
Всі чотири механізму схематично показані на рис. 8.4. Вважається, що електростатичні ефекти в високоефективних фільтрах проявляються незначно, і тому вони на малюнку не представлені.
У приміщеннях з односпрямованим повітряним потоком, щоб забезпечити максимально чисті умови, повітря подають на критичні ділянки безпосередньо з високоефективних фільтрів.
Фактори ризику і запобіжні заходи в колекційному менеджменті. Запобіжні заходи: засоби індивідуального захисту, респіратори, вентиляція, захист від бризок, медичний нагляд, пилососи з високоефективним фільтром, наявність дозволів на застосування і взяття проб повітря перед входом в оброблене фумигантами приміщення.
видаляється з укриттів, боксів, камер, шаф та іншого обладнання забруднене повітря може бути піддано перед викидом в атмосферу очищенню на високоефективних фільтрах.
Видаляється з укриттів, боксів, камер, шаф та іншого обладнання забруднене повітря може бути піддано перед викидом в атмосферу очищенню на високоефективних фільтрах.
Так, в практичних умовах на одному новому заводі барвників в ФРН в триступеневої системи: масляні самоочищаються фільтри - ефективні фільтри (типу мікроліт) - високоефективні фільтри (типу мікросорбан), фільтри другого ступеня доводилося замінювати кожні кілька місяців, в той час як в основних фільтрах третього ступеня після півтора року роботи істотного збільшення опору виявлено не було.
Поряд з проблемою видалення газоподібних радіоактивних продуктів поділу чималу складність являє очищення повітря, що викидається через вентиляційну трубу в атмосферу, від дисперсних частинок і створення для цих цілей спеціальних високоефективних фільтрів.
Різьба по дереву за допомогою ручного інструменту. | Деревообробні машини з мішка. Запобіжні заходи включають відмову від роботи з деревиною, обробленої Пентахлорфенол або креозотом, використання локальної витяжної вентиляції при механічній обробці деревини, просоченої хромовим ар-сенатом міді або носіння респіраторів з високоефективними фільтрами.
деякі типи дрібнодисперсних макрочасток, що зустрічаються в шахтах (наприклад, волокна азбесту в азбестових шахтах, радіонукліди в уранових розробках або вугільна дрібниця в протяжних забоях), вимагають застосування респіраторів позитивного тиску з високоефективним фільтром для макрочасток.
При випробуванні респіраторів, призначених для захисту від радіоактивних аерозолів, застосовують високодисперсні природні атмосферні частки, мічені шляхом осадження на них дочірніх продуктів еманації торію, радіоактивні аерозолі (солі Sr 1 P32) і ін. Для швидких і точних випробувань високоефективних фільтрів і респіраторів в цілому застосовують нетоксичний аерозоль хлористого натрію.
Зони витоків в високоефективному фільтрі. Частиною програми випробувань чистого приміщення є визначення відповідності якості подається в чисте приміщення повітря розв'язуваної задачі тобто специфіку проведених в ньому робіт. Високоефективні фільтри повинні забезпечувати ефективне уловлювання частинок з поступаюшего повітря.
Ці волокна орієнтовані в просторі випадковим чином по всій глибині фільтруючого середовища і тому не утворюють пір якогось певного розміру. На рис. 8.3 наводиться фотознімок фільтруючого середовища високоефективного фільтру. У нижній частині фотографії вказано масштаб 10 мкм.
Зазвичай в чистих приміщеннях порівняно низьких класів (іноді в приміщеннях класу ISO 7 тобто класу 10000і часто в приміщеннях класу ISO 8 тобто класу 100000) перевірку фільтрів на наявність течі не проводять. У чистих приміщеннях класу ISO 8 (клас 100000) високоефективні фільтри на виході системи вентиляції можуть взагалі не встановлюватися, а замість них використовуються з мішковини фільтри, що розміщуються після центрального кондиціонера. В цьому випадку перевірка фільтрів на наявність течі за методикою, описаної в цьому розділі неможлива. Часто можна почути твердження, що якщо необхідна по стандарту чистота повітря досягається ще до його входу в чисте приміщення, то невелика текти нефільтрованого повітря через систему фільтрації дасть невелике забруднення, що цілком прийнятно. Ця точка зору абсолютно виправдана для турбулентному вентильованих чистих приміщень, де подається повітря добре перемішується з повітрям всередині чистого приміщення, що дозволяє уникнути локальних перевищень концентрації частинок, обумовлених дефектами фільтра. У системах з односпрямованим повітряним потоком, особливо в ламінарних шафах або ізоляторах, де відстань від фільтра до критичної зони може бути невеликим, дефект в ушкодженому фільтрі може дати спрямований потік забруднень, що, в свою чергу, може викликати локальне підвищення концентрації частинок в критичній зоні до неприпустимого рівня. Таким чином, чисті приміщення з односпрямованим потоком повітря, а також пристрої з додатковим очищенням повітря, в яких використовується односпрямований повітряний потік, необхідно завжди перевіряти на наявність дефектів фільтрів.
Коли рівні аміаку високі можна застосовувати комбінацію з заплічних патронів, фільтруючих аміак і частки. Також може підійти більш дорогий приводний повітроочисний респіратор з маскою на все обличчя і високоефективними фільтрами. Ці пристрої мають ту перевагу, що фільтрується повітря постійно подається в лицьову маску, зменшуючи опір дихання. Повітроочисні шлемообразной респіратори також можуть ефективно використовуватися, в тому числі і бородатими людьми. Для деяких робочих ситуацій можуть підходити такі типи респіраторів, які мають меншу захистом, ніж повітроочисні типи респіраторів на все обличчя.
XIV), важливою умовою нормальної експлуатації є безперервна фільтрація циркулюючого розсолу, здійснювана за рахунок застосування високоефективних фільтрів, що виправдали себе в хімічній промисловості.
Скрубери Вентурі також широко використовуються в системах очищення повітря від туманів. Ефективність очищення повітря від туману із середнім розміром частинок приблизно 0 3 мкм досягає 0999 що цілком порівнянно з високоефективними фільтрами.
Скрубери Вентурі широко використовують в системах очищення газів від туманів. Ефективність очищення повітря від туману із середнім розміром частинок більше 0 3 мкм досягає 0999 що цілком порівнянно з високоефективними фільтрами.
Водяна пара і оксиди азоту, отримані в результатірозкладання продукту, відводилися через систему циклонів, мокрий скрубер, сілікагелевой адсорбер і високоефективні фільтри і потім викидалися в атмосферу. Отриманий в шарі гранульований твердий продукт з'єднувався з продуктом, виділеним з газів, що відходять сухий пилеочистка, і пневматично транспортувався в підземні сховища.
У сучасних карбюраторних двигунах розрідження у впускному тракті доходить до 500 мм рт. ст., а через примусової вентиляції розрідження в картері досягає 20 мм рт. ст. Тому необхідна ретельна герметизація картера і впускного тракту за рахунок якісного ущільнення колінчастого вала, маслоізмерітельного стержня і інших з'єднань. Так як при використанні примусової вентиляції кількість надходження повітря в картер з атмосфери через сапун досягає декількох кубічних метрів на годину, необхідне застосування високоефективних фільтрів на Сапун, як, наприклад, паперових, мають широке поширення в зарубіжних двигунах.
В результаті численних дослідів нами було виявлено нове явище, яке в загальному вигляді можна сформулювати так: утримання частинок різного ступеня дисперсності (в тому числі і деяких утворюють істинні розчини речовин) поляризованими матеріалами. Зовні суть явища зводиться до того, що шар зернистого, волокнистого або пористого матеріалу, який не представляє собою ніякої реальної фільтрувальної перегородки для частинок малого розміру, будучи поміщеним в електричне поле, перетворюється в високоефективний фільтр, що затримує всякі колоїдні частинки і багато речовин, що утворюють істинні розчини.
Хоча між методами є прямі співвідношення, результати всіх трьох методів не можуть прямо порівнюватися. Ефективність фільтрів зменшується, коли вони засмічуються, і після цього вони можуть стати джерелом запаху і забруднення. Ресурс високоефективного фільтру може бути сильно продовжений використанням одного або декількох фільтрів з установкою більш грубого фільтру перед високоефективним фільтром. Таблиця 45.5 показує початкову, кінцеву та середню продуктивність різних фільтрів за критеріями, встановленими ASHRAE 52 - 76 для частинок діаметром 0 3 мкм.
Високоефективний фільтр призначений для уловлювання частинок з розмірами приблизно 2 мкм і менше. Для видалення більших частинок можна використовувати порівняно дешеві попередні фільтри, які в цьому розділі не розглядаються. Фільтрувальне середовище високоефективного фільтру виконана зі скляних волокон з діаметрами в діапазоні від 0 1 мкм до 10 мкм, причому відстань між волокнами, як правило, набагато більше розмірів уловлюються частинок.
Освоєно ряд нових конструкцій для фільтрування газів. Друге народження переживають тканинні (рукавні) фільтри. Великого поширення набули високоефективні фільтри Петрянова. Високу ефективність (до 99 9%) газоочистки забезпечують також розроблені НІІОГАЗ відцентрові фільтри (наприклад, ФЦ-13 з безперервною регенерацією фільтрувальної перегородки) із середнім розміром вловлюються частинок близько 1 0 мкм з газових потоків з температурою до 500 С.
Для очищення підлоги в чистих приміщеннях можна використовувати машини з обертовими щітками. Викиди повітря фільтрується за допомогою високоефективних фільтрів.
Вентиляція чистих приміщень зазвичай здійснюється за схемою зверху - вниз. Припливне повітря попередньо проходить очистку в фільтрах. Для скорочення експлуатаційних витрат і зниження навантаження на високоефективні фільтри тонкого очищення перед ними рекомендується встановлювати фільтри грубого очищення. Необхідно, щоб як в самих фільтрах, так і між осередками не було зазорів для проходу неочищеного повітря. Припливне повітря в чистих приміщеннях доцільно роздавати рівномірно по всьому перетину приміщення, уникаючи виникнення зворотних повітряних течій.
Чисті приміщення на підприємствах мікроелектроніки існують і розвиваються вже багато років. На рис. 6.5 представлений тип чистого приміщення, широко поширений в цій галузі. Зі схеми видно, що односпрямований потік повітря рухається від високоефективних фільтрів вниз і проходить через пів чистого приміщення. Оскільки виробництво напівпровідникових приладів дуже чутливо до вібрації, передбачаються спеціальні заходи боротьби з нею. У деяких конструкціях повітря повертається на рециркуляцію безпосередньо з-під підлоги, а в інших (аналогічних представленої на рис. 6.5) передбачається великий підвал, який використовується для технічного обслуговування. Існують конструкції чистих приміщень, що мають і фальшпол, і технічний поверх в підвальному приміщенні. Проект, представлений на рис. 6.5 часто називають танцзалах, оскільки він являє собою одне велике приміщення.
Ізолюючі лабораторні шафи (бокси. З малюнка видно, що в приміщення подається чисте повітря, але його кількість повинна бути меншою за кількість повітря, що виходить через витяжну вентиляцію. Виходить з приміщення повітря перед викидом у зовнішнє середовище повинен бути профільтрованний високоефективним фільтром. .